说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS 31.200 L 55 中华人民共和国国家标准 GB/T34894—2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构 应变梯度测量方法 Micro-electromechanical system technologyMeasuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer 2018-05-01实施 2017-11-01发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 34894—2017 目 次 前言 范围 1 2 规范性引用文件 3术语和定义 4测量方法 5 影响测量不确定度的主要因素 附录A(资料性附录) 光学干涉显微镜的典型形式和主要技术特点 SZG GB/T 34894—2017 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草, 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。 本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、天津大学、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、 中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学。 本标准主要起草人:胡晓东、郭彤、程红兵、于振毅、李海斌、崔波、朱悦、裘安萍。 Ⅲ GB/T34894—2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构 应变梯度测量方法 1范围 本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法, 本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T3505产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数 GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语 GB/T26113微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则 方法 3术语和定义 GB/T3505、GB/T26111和GB/T34893一2017界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 应变梯度 straingradient 结构内部单位长度的应变变化值。 4测量方法 4.1总则 4.1.1悬臂梁是薄膜力学特性测量中最常用的测量结构,如基于表面MEMS工艺制作的微悬臂梁,通 过去除牺牲层释放结构层实现可动结构。在残余应力作用下,释放的微悬臂梁结构将产生弯曲变形(如 图1所示),通过弯曲变形的测量获取微悬臂梁的应变梯度。 1
GB-T 34894-2017 微机电系统 MEMS 技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
文档预览
中文文档
11 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共11页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 思安 于
2023-01-22 17:31:07
上传分享
举报
下载
原文档
(1.3 MB)
分享
友情链接
GM-T 0044.5-2016 SM9标识密码算法 第5部分:参数定义.pdf
SL-T 799-2020 水利数据目录服务规范.pdf
GB-T 3364-2008 碳纤维直径和根数试验方法.pdf
GA-T 1574—2019 信息安全技术 数据库安全加固产品安全技术要求.pdf
GB-T 43435-2023 信息安全技术 移动互联网应用程序 App 软件开发工具包 SDK 安全要求.pdf
GB-T 34934-2017 机械电气安全 安全相关设备中的通信系统使用指南.pdf
GB-T 616-2006 化学试剂 沸点测定通用方法.pdf
GM-T 0056-2018 多应用载体密码应用接口规范.pdf
T-CISA 216—2022 船舶用热轧纵向变厚度钢板.pdf
GB-T 20999-2017 交通信号控制机与上位机间的数据通信协议.pdf
GB 31338-2014 工业硅单位产品能源消耗限额.pdf
YD-T 4177.1-2022 移动互联网应用程序(APP)收集使用个人信息最小必要评估规范 第1部分:总则.pdf
GB-Z 42285-2022 道路车辆 电子电气系统ASIL等级确定方法指南.pdf
OWASP 软件保证成熟度模型 v1.0 中文版 SAMM-1.0-cn.pdf
NIST SP 800-193_ BIOS 平台固件弹性指南 .pdf
NY-T 3928-2021 农作物品种试验规范 茶树.pdf
SN-T 5410.1-2022 铅矿及主要含铅的矿渣鉴别方法 第1部分:通则.pdf
数字中国发展报告 2021年 .pdf
DB37-T 4319—2021 水利物联网终端技术规范 山东省.pdf
GB-T 21028-2007 信息安全技术 服务器安全技术要求.pdf
交流群
-->
1
/
3
11
评价文档
赞助2元 点击下载(1.3 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。