ICS 77.150.99 YS H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1371—2020 离子注入机用钨材 Tungsten material for ion implanter 2020-12-09发布 2021-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1371—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：厦门虹鹭钨钼工业有限公司、西安瑞福莱钨钼有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公 司、成都联虹钼业有限公司。 本标准主要起草人：侯海涛、林强、杜勇、张衍诚、谭华、石涛、汤瑾、朱博、张林海、吴朝圣、范荣奎。 YS/T1371—2020 离子注入机用钨材 1范围 本标准规定了离子注入机用钨材（钨板和钨杆）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存、质量证明书和订货单(或合同)等内容。 本标准适用于离子注入机用钨板和钨杆。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单适用于本文件。 GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廊法表面粗糙度参数及其数值 GB/T2828.1一2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T4324.25钨化学分析方法第25部分：氧量的测定脉冲加热情气熔融-红外吸收法 GB/T4324.264 钨化学分析方法第26部分：氮量的测定 脉冲加热情气熔融-热导法和奈氏试 剂分光光度法 GB/T4324.27钨化学分析方法第27部分：碳量的测定高频燃烧红外吸收法 GB/T4340.1 金属材料维氏硬度试验第1部分：试验方法 GB/T14265金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则 YS/T901高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 3技术要求 3.1化学成分 产品的化学成分应符合表1规定。 表1离子注入机用钨材的化学成分 质量分数/% 化学成分 含量 主成分”，不小于 W 86'66 Na 0.00250 0.00150 Fe 0.00150 杂质成分，不大于 Ni 0.00150 Mo 0.00150 Ta 0.00150 1