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书 书 书犐犆犛 31 . 200 犔 55 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 33929 — 2017 犕犈犕犛 /G21 犵 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱狊狅犳狋犺犲狆犲狉犳狅狉犿犪狀犮犲犳狅狉犕犈犕犛犺犻犵犺 犵 犪犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉 2017 07 12 /G2F /G30 2018 02 01 /G31 /G32 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G2F /G30 书 书 书/G21 /G22 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 GB / T1.1 — 2009 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G22 /G23 /G35 /G33 /G34 /G36 /G37 /G38 ( SAC / TC336 ) /G39 /G27 /G3A /G3B /G3C 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G3D /G3E : /G3F /G40 /G41 /G42 、 /G3F /G31 /G43 /G44 /G45 /G46 /G47 /G3F /G48 。 /G21 /G22 /G23 /G49 /G4A /G2B /G2C /G4B : /G4C /G4D /G4E 、 /G4F /G50 /G51 、 /G52 /G53 、 /G54 /G55 /G56 、 /G57 /G58 /G59 、 /G5A /G5B 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 33929 — 2017 犕犈犕犛 /G23 犵 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 1 /G31 /G32 /G21 /G22 /G23 /G29 /G5C /G5D MEMS /G5E 犵 /G5F /G60 /G61 /G62 /G63 /G64 /G65 /G28 /G32 /G66 /G67 /G68 /G69 /G6A /G21 /G67 /G68 /G28 /G34 /G6B /G69 /G5C /G6C 、 /G6D /G6E /G6F /G70 、 /G6D /G6E /G28 /G71 /G72 /G29 /G5C 、 /G6D /G6E /G73 /G74 /G75 /G76 /G77 。 /G21 /G22 /G23 /G78 /G79 /G7A /G7B /G4F /G7C 1×10 4 犵 ~ 2×10 5 犵 /G7D /G7E /G28 MEMS /G5E 犵 /G5F /G60 /G61 /G62 /G63 /G64 /G65 ( /G7F /G80 /G81 /G82 /G60 /G61 /G62 /G63 /G64 /G65 ) /G67 /G68 /G6D /G6E 。 2 /G33 /G31 /G2B /G34 /G35 /G36 /G37 /G80 /G83 /G84 /G70 /G85 /G7A /G21 /G84 /G70 /G28 /G86 /G79 /G87 /G88 /G89 /G8A /G8B /G28 。 /G8C /G87 /G8D /G8E /G8F /G28 /G90 /G79 /G84 /G70 , /G91 /G8D /G8E /G8F /G28 /G92 /G21 /G78 /G79 /G7A /G21 /G84 /G70 。 /G8C /G87 /G89 /G8D /G93 /G8E /G8F /G28 /G90 /G79 /G84 /G70 , /G94 /G95 /G96 /G92 /G21 ( /G97 /G98 /G99 /G9A /G28 /G9B /G9C /G3D ) /G78 /G79 /G7A /G21 /G84 /G70 。 GB / T2421.1 /G32 /G9D /G32 /G9E /G44 /G9F /GA0 /GA1 /G6D /G6E /GA2 /GA3 /G69 /GA4 /GA5 GB / T7665 /G63 /G64 /G65 /GA6 /G79 /G34 /G6B GB / T26111 /G30 /G31 /G32 /GA7 /GA8 ( MEMS ) /G33 /G34 /G34 /G6B JJF1156 /GA9 /GAA /GAB /GAC /GAD /G61 /GAE /G7B /G34 /G6B /G75 /G5C /G6C 3 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C GB / T7665 、 GB / T26111 /G69 JJF1156 /GAF /G5C /G28 /G7F /G75 /G80 /G83 /G34 /G6B /G69 /G5C /G6C /G78 /G79 /G7A /G21 /G84 /G70 。 3 . 1 /G3D /G3E /G3F /G40 /G41 犎狅狆犽犻狀狊狅狀狉狅犱 /GB0 /G79 /GB1 /G67 /G4E /G7C /GB2 /GB3 /GB4 /G3F /G63 /GB5 /GB6 /G44 /G43 /GAB /GAC /GB7 /GAA /G28 /GAB /GAC /GB8 /GB9 。 4 /G2D /G2E /G42 /G37 4 . 1 /G43 /G44 /G42 /G37 4 . 1 . 1 /G45 /G46 /G47 /G48 /G42 /G37 /GBA /GBB /GBC /GB2 /G29 /G7D /GBD /G9A /G29 /G5C , /G99 /G9A /G6D /G6E /G86 /G7C GB / T2421.1 /G99 /G29 /G5C /G28 /G6D /G6E /G79 /G22 /G23 /G41 /G66 /G6F /G70 /G80 /G47 /GBE 。 4 . 1 . 2 /G49 /G4A /G42 /G37 /GBA /G44 /G9F /G33 /G34 /G6F /G70 /GBD /G9A /G29 /G5C , /G6D /G6E /GBF /GC0 /GBA /GC0 /GC1 /GBF /GC2 , /G86 /GC3 /G94 /GC4 /GC2 /GAF /G32 /GC1 /GBF 。 4 . 1 . 3 /G4B /G4C /G42 /G37 /GBA /G44 /G9F /G33 /G34 /G6F /G70 /GBD /G9A /G29 /G5C , /G6D /G6E /GBF /GC0 /GC5 /G6D /GC6 /G86 /GC3 /G31 /GC7 /GA9 /GAA 。 1 犌犅 / 犜 33929 — 2017 4 . 2 /G4D /G2D /G4E /G4F 4 . 2 . 1 /G50 /G51 /G52 /G46 /G4D /G2D /G4E /G4F /GC8 /G85 /GC9 /G23 /GC5 /G6D /GA7 /GA8 /G49 /G4A /G2D /GCA /GCB /GCC /GCD /GB4 、 /GCE /GCF /GD0 /GD1 /GD2 、 /GD3 /GD4 /GB0 /GD5 /GB8 /GB9 /GD6 /GD7 /GD8 。 a ) /GAB /GAC /G60 /G61 /G62 /GD9 /G5F : 1×10 4 犵 ~ 2×10 5 犵 ; b ) /GAB /GAC /G60 /G61 /G62 /GDA /GAB /GDB /G62 : 2×10 -4 s ~ 1×10 -5 s ; c ) /GCE /GCF /GD0 /GD1 /GD2 /G95 /G41 /GC5 /G61 : /G89 /GDC /G7A 100m / s ; d ) /G61 /G62 /GC5 /G7B /G89 /GDD /G5C /G62 : /G89 /G41 /G7A 3% ; e ) /G79 /G7A /GCE /GCF /GD0 /GD1 /GD2 /GCF /G32 /GDE /GDF /G28 /GB0 /GD5 /GE0 /GE1 /GE2 /GE3 /GE4 /GDB /G86 /G89 /GDC /G7A 200MHz , /G79 /G7A /G60 /G61 /G62 /G63 /G64 /G65 /GE5 /G27 /GB0 /GD5 /GE0 /GE1 /GE2 /GE3 /GE4 /GDB /G89 /GDC /G7A ( 10 3 / 狋 ) Hz /GE6 /GE7 /G5E ( 狋 /GE8 /GDA /GAB /GE9 /GEA /GEB /GEC , s )。 4
GB-T 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法
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