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ICS31.200 L55 中华人民共和国国家标准 GB/T26113—2010 微 机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则 Micro-electromechanicalsystemtechnology— Generalrulesfortheassessmentofmicro-geometricalparameters 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。 本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。 本标准主要起草人:丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥。 ⅠGB/T26113—2010
GB-T 26113-2010 微机电系统 MEMS 技术 微几何量评定总则
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