ICS 31.080.99 GE CCS L 59 中华人民共和国国家标准 GB/T 44513—2024/IEC 62047-37:2020 微机电系统（MEMS)技术传感器用 MEMS压电薄膜的环境试验方法 Micro-electromechanical systems (MEMS) technologyEnvironmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application (IEC 62047-37 :2020 ,Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices- Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application, IDT) 2024-09-29发布 2025-01-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T 44513—2024/IEC 62047-37:2020 目次前言 II 范围 1 2 规范性引用文件 3 术语和定义试验流程 4.1 总则 4.2 初始测量 4.3 试验 4.4 后处理 4.5 最终测量 5环境和介质耐电压试验 5.1 环境试验介质耐电压试验 5.2 附录A（资料性）测试结果报告 A.1 总则 A.2 高温影响试验参考文献

GB-T 44513-2024 微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

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