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ICS 23. 160 J 78 中华人民共和国国家标准 GB/T 3163—2007 代替GB/T3163-1993 真空技术 术语 Vacuum technology-Terminology (ISO 3529:1981 Vacuum technology—Vocabulary,MOD) 2007-12-02发布 2008-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 3163—2007 目 次 前言 1 范围 2 一般术语 3 真空泵及有关术语 真空计· 13 5 真空系统及有关术语 19 6 检漏及有关术语· 25 真空镀膜技术 27 8 真空干燥和冷冻干燥 32 9 表面分析技术· 37 10 真空冶金 42 附录A（资料性附录） 在采用国际单位制(SI制)之前使用的压力单位和换算系数 48 附录B（资料性附录） 符号表 50 附录C（资料性附录） 真空泵分类表 附录D（资料性附录） 本标准章条编号与ISO3529：1981章条编号的对照一览表 52 附录E（资料性附录） 本标准与ISO3529：1981的技术性差异 56 中文索引 57 英文索引 73 参考文献 89

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