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ICS_31. 200 L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T16878—1997 用于集成电路制造技术的 检测图形单元规范 Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture 1997-06-20发布 1998-03-01实施 国家技术监督局 发布 GB/T16878—1997 目 次 前言 1 范围 2 引用标准 3 定义 要求 5 应用指南
GB-T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
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