ICS13.040.35 C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.5—2010/IS014644-5:2004 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行 Cleanrooms and associatedcontrolled environments- Part5:Operations （ISO14644-5:2004,IDT） 2011-01-14发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 数码防伪 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25915.5—2010/ISO14644-5:2004 目 次 前言 引言 1 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4技术要求 附录A（资料性附录） 运行体系 附录B（资料性附录） 洁净服 10 附录C（资料性附录） 人员· 14 附录D（资料性附录） 固定设备 17 附录E（资料性附录） 材料和便携设备 20 附录F（资料性附录） 洁净室的清洁 26 参考文献 34
GB-T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行
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