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ICS17.040.20 GB CCSJ04 中华人民共和国国家标准 GB/T33523.603—2022/IS025178-603:2013 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式 仪器的标称特性 Geometricalproduct specifications (GPS)Surface texture:Areal- Part 6o3:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)instruments （IS025178-603:2013,IDT） 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T33523.603—2022/ISO25178-603:2013 目 次 前言 IⅢI 引言 IV 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 影响量的描述 11 附录A（资料性） 相移干涉（PSI)显微镜的组件 14 附录B（资料性） 相移干涉（PSI）显微镜的工作原理 15 附录C（资料性） 相移干涉（PSI）显微镜的误差和修正 18 附录D（资料性） 与GPS矩阵模型的关系 21 参考文献 22

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