说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
文件分类
频道
联系我们
问题反馈
文件分类
联系我们
问题反馈
批量下载
ICS 77. 040. 01 H 17 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 8757—2006 代替GB/T8757—1988 砷化中载流子浓度等离子共振 测量方法 Determination of carrier concentration in gallium arsenide by the plasma resonance minimum 2006-07-18 发布 2006-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 8757—2006 前言 本标准是对GB/T8757一1988《砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法》的修订。 本标准与GB/T8757—1988相比主要有以下变动: 原标准表述仪器要求使用了波数表示法,为了和其他条款的表述一致,改为波长表示法; 原标准规定,为测定仪器的波长精度和重复性,要测量聚苯乙烯膜的吸收带10次。但未规定 是按固定周期还是在每次测量前做这项工作,也没有规定如果在这10次测量结果中出现一次 或几次不符合要求时应如何处理,不便于实际操作。修改后规定为每次打开仪器按仪器说明 书的要求预热一定时间后,在正式测量前进行一次测量聚苯乙烯膜的吸收带的校准; 一原标准5.1式中的常数c对于砷化镓材料总是为零,故在表达式中取消。 本标准自实施之日起代替GB/T8757—1988。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准起草单位:北京有色金属研究总院 本标准主要起草人:王彤涵。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: GB/T8757—1988。 I GB/T8757—2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振 测量方法 1范围 本标准适用于掺杂砷化镓单晶中载流子浓度的测量。测量范围: n-GaAs1.0X1017cm-3~1.0X1019cm-3 p-GaAs2.0×1018cm-3~1.0×102°cm3 2原理 在红外光谱区域,重掺杂半导体材料的反射率为波长的函数,材料的载流子浓度和反射光谱的等离 子体共振极小值波长具有对应关系,测量此波长,根据公式可计算出载流子浓度。 3仪器 3.1双光束红外分光光度计或傅立叶红外光谱仪,波长范围为2.5um~50μm,或波数范围为 4000cm-1~200cm-1。如果波长范围较窄,则测量范围相应减小。 3.2仪器的波长和波长重复性误差不大于0.05um。在10μm处光谱分辨率为0.02μm或更好。 3.3仪器应配有反射附件,人射角不大于30。仪器应配有黑体材料制成的多种孔径的光阑。 4样品 4.1作为样品的单晶片,表面必须研磨后进行机械或化学抛光,使样品表面在良好的光线下看上去平 整光洁。 4.2样品的导电类型应是已知的。 5测量 5.1仪器校准 5.1.1打开仪器,按说明书的要求进行预热。测量厚度为300μm~500μm的聚苯乙烯膜的吸收光 谱,核对3.303um吸收带,其结果应满足条款3.2的要求。 5.1.2安装反射附件后测量100%线,其峰谷值差应小于8%。 5.2测量 5.2.1选择适当的扫描速度,以满足条款3.2的要求。测量并记录样品的反射光谱。如果反射谱线 的极小值与任一边的最大值之差小于10%,则应提高仪器的放大倍数并重新记录反射光谱。 5.2.2在反射谱线的极小值两侧约0.5μm~1μm处分别作两条与谱线相切的直线,两直线的交点 处即为反射极小值的位置。 6计算 载流子浓度按以下公式计算: SAC N=(A·Λmin)B .(1) 式中: N———载流子浓度,单位cm-"; 1
GB-T 8757-2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法
文档预览
中文文档
8 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 思安 于
2023-02-13 02:22:33
上传分享
举报
下载
原文档
(662.8 KB)
分享
友情链接
DB13-T 5628-2022 旅游节庆活动服务规范 河北省.pdf
DA-T 94-2022 电子会计档案管理规范.pdf
GB-T 14264-2009 半导体材料术语.pdf
法律法规 唐山市人民代表大会常务委员会关于第二批废止地方性法规中若干行政许可规定的决定.pdf
GB-T 3273-2015 汽车大梁用热轧钢板和钢带.pdf
GB-T 22025-2008 气雾剂级异丁烷 A-31.pdf
GA-T 1545-2010 信息安全技术 智能密码钥匙安全技术要求.pdf
RB-T 174-2021(修订) 司法鉴定-法庭科学机构能力专业要求(修订).pdf
T-GDPMAA 0005—2020 精准护理体系.pdf
T-BJQC 201905-2023 智能网联汽车信息安全测试方法和判定准则.pdf
T-SDWL 0002—2023 智慧物流园区停车系统功能要求.pdf
专利 一种轴承质量检测装置及方法.PDF
GB-T 31436-2015 节水型卫生洁具.pdf
亿格云 陈吴栋 零信任SASE 助力数字化企业建立多云安全访问体系.pdf
安全架构实践的公理 2020.pdf
DL-T 1474—2021 交、直流系统用高压聚合物绝缘子憎水性测量及评估方法.pdf
DB31-T 1109-2022 乡村振兴示范村建设指南 上海市.pdf
法律法规 青岛市民用建筑节能条例2022-01-21.pdf
DB13-T 5557-2022 村庄规划技术规范 河北省.pdf
DB65-T 3902-2016 烟花爆竹批发、零售及储存库事故隐患排查技术规范 新疆维吾尔自治区.pdf
交流群
-->
1
/
3
8
评价文档
赞助2元 点击下载(662.8 KB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。